當前位置：10月29日，上海市舉行2025年“世界標準日”主題活動。活動中，由中國科學院上海硅酸鹽研究所牽頭制定、上海市硅酸鹽學會發布的團體標準《i-線光刻級氟化鈣晶體元件》（T/SCS000021-2023）榮獲“上海標準”稱號，上海硅酸鹽所所務委員、科技發展部部長、發展規劃處處長劉軍代表研究所參會并領獎。
作為我國紫外光刻領域首項核心光學材料專業技術標準，《i-線光刻級氟化鈣晶體元件》系統規范了i-線光刻級氟化鈣晶體關鍵性能指標，涵蓋材料測試、精密加工與質量控制全流程，填補了國內外相關標準空白，整體技術水平達到“國內領先、國際先進”。標準實施后有效解決了高端半導體設備關鍵光學材料的技術瓶頸，被國內外相關龍頭及上下游企業采納，推動高端紫外氟化鈣晶體產品的質量與產量實現雙提升：產品合格率由40%大幅提高至95%以上，年產量從20噸擴大至50噸，在紫外高端光學材料領域發揮了“領航員”作用。依據該標準研制的i-線氟化鈣晶體已應用于i-線光刻、空間光學、半導體量測、紫外激光器等高端裝備領域，標志著我國在高性能氟化鈣晶體材料領域具備國際先進的生產制造能力，成為支撐國家戰略科技力量的重要基石。該標準此前獲評“2024年度上海市團體標準十佳典型案例”。
